Skocz do zawartości
Forum
Szukaj w
  • Więcej opcji...
Znajdź wyniki które...
Znajdź wyniki...
yanyan

High frequency discharge in vacuum system

Rekomendowane odpowiedzi

 

 

Do you know about high frequency discharge in vacuum system? If you don't know much about it, it will explain to you what the high frequency discharge in vacuum system is. High frequency discharge refers to the phenomenon of gas discharge when the frequency of power supply is more than 1 MHz. High frequency discharge can produce stable large volume plasma, so it is the most commonly used discharge form in plasma film-forming and etching technology.

The power frequency of high frequency discharge in vacuum system is usually 13.56 MHz. This is because in order to prevent the interference of high frequency electromagnetic wave radiation energy on communication, the frequency range for industrial use is specified by the international telecommunication authority, including the frequency of 13.56 MHz. However, due to the nonlinear effect of glow discharge, many harmonics of fundamental frequency appear in the discharge circuit, and the high-order frequency waves affecting communication are still emitted from the discharge circuit. The energy of these harmonic radiation in the circuit is much smaller than that of the fundamental frequency wave.

Water Ring Vacuum Pump

Dry Scroll Vacuum Pump

industrial vacuum pumps,vacuum furnaces

Udostępnij tę odpowiedź


Odnośnik do odpowiedzi
Udostępnij na innych stronach
Gość
Dodaj odpowiedź do tematu...

×   Wklejono zawartość z formatowaniem.   Usuń formatowanie

  Maksymalnie dozwolone są tylko 75 emotikony.

×   Odnośnik został automatycznie osadzony.   Przywróć wyświetlanie jako odnośnik

×   Przywrócono poprzednią zawartość.   Wyczyść edytor

×   Nie możesz bezpośrednio wkleić grafiki. Dodaj lub załącz grafiki z adresu URL.


×
×
  • Dodaj nową pozycję...